半导体倒边减薄废水回用

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半导体倒边减薄废水回用

某砷化镓晶元制造厂,在磨边、减薄工艺时产生较多含20-200NM细小颗粒的废水,一方面造成砷化镓资源浪费另一方面产生大量废水。受业主方委托回用该部分水并收集砷化镓废渣利用。


工艺介绍


利用管式微滤精密过滤装置,可替代传统混凝沉淀设备,简化工艺,现场整洁卫生,免去加PAM沉淀有利于后端进反渗透膜回用。产水可利用在中间减薄、倒边阶段。


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