山西某晶圆厂20T/H超纯水项目

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山西某晶圆厂20T/H超纯水项目

客户的基本需求和情况如下:

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根据客户情况,得到基本的设计依据:


根据客户情况,设计的工艺流程如下:

原水箱 → 输送泵 → 多介质过滤 → 超滤 → 保安过滤器(5μm)→ 中转水箱(阻垢剂)→ 增压泵 → 一级RO → 一级纯水箱(PH调节)→ 增压泵 → 二级RO → 二级纯水箱 → 输送泵 → 精密过滤器(5μm)→ EDI → UV杀菌器 → 氮封水箱 → 输送泵 → TOC 降解 → 抛光树脂 → 精密过滤器(0.22μm)→ 使用点