超纯水系统总体来说一般可分为三个部分： 超纯水制造区（CUB部分）； 超纯水抛光循环区（FAB部分）； 超纯水输送管网（FAB各使用区）。

其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。 预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）； 一次纯水部分主要包括：多级反渗透、阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器等。

超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。 但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。 

超纯水制取工艺推荐

1、一级RO+EDI+抛混：产水电阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指标符合电子级超纯水规范

源水→源水箱→增压泵→砂滤器→炭滤器→软化器/阻垢剂→保安过滤器→高压泵→一级反渗透→一级水箱→增压泵→精滤器→EDI电除盐装置→超纯水箱（建议氮气保护）→输送泵→抛光混床→UV/TOC→精滤器→用水点→回水（建议管道循环、无死水）

注意：该工艺要求原水水质情况较好、否则会对EDI电除盐系统造成不可修复损伤

2、二级RO+EDI+抛混：产水电阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指标符合电子级超纯水规范

源水→源水箱→增压泵→砂滤器→炭滤器→软化器/阻垢剂→保安过滤器→高压泵→一级反渗透→一级水箱→PH调节→高压泵→二级反渗透→二级水箱→增压泵→精滤器→EDI电除盐装置→超纯水箱（建议氮气保护）→输送泵→抛光混床→UV/TOC→精滤器→用水点→回水（建议管道循环、无死水）

注意：如微粒子要求与TOC要求较高，建议后段设置脱除微粒子与TOC指标的专用超滤UF膜（日本旭化成）

3、盘滤+UF+二级RO+EDI+抛混：产水电阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指标符合电子级超纯水规范

源水→源水箱→增压泵→盘滤→袋滤→超滤UF→超滤水箱→中间泵→保安过滤器→高压泵→一级反渗透→一级水箱→PH调节→高压泵→二级反渗透→二级水箱→增压泵→精滤器→EDI电除盐装置→超纯水箱（建议氮气保护）→输送泵→抛光混床→UV/TOC→精滤器→用水点→回水（建议管道循环、无死水）

注意：

1、如微粒子要求与TOC要求较高，建议后段设置脱除微粒子与TOC指标的专用超滤UF膜（日本旭化成）

2、以上工艺为全膜法工艺

3、一级RO+三级抛混：产水电阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指标符合电子级超纯水规范

源水→活性炭滤芯→10um滤芯→5um滤芯→高压泵→反渗透RO系统→一级抛光混床→二级抛光混床→三级抛光混床→精滤器→超纯水箱（建议氮气保护）→输送泵→UV/TOC→精滤器→用水点→回水（建议管道循环、无死水）

超纯水设备主要用途

1、半导体行业：用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封测用水、半导体设备清洗、电子级无尘布无尘服清洗。

2、太阳能光伏行业：单晶硅、多晶硅切片清洗、太阳能电池、石英坩埚、多晶硅方舟、光伏玻璃、高纯硅粉。

3、LCD、LED、OLED生产清洗用水，光学摄像头清洗，光学材料清洗，导电玻璃清洗。

4、半导体集成电路板，线路板生产清洗用超纯水。

5、锂电池材料（磷酸铁锂、三元材料、锂电池隔膜）、蓄电池、锌锰电池生产用水。

6、电子级超纯化学试剂用纯水，纳米级电子陶瓷材料纯水、尖端磁性材料用纯水、航空新材料生产用水。

我公司优势

● 一对一专业服务，免费上门勘测场地，考虑放置区域与进场空间，免费检测原水水质。

● 了解客户全天需求水量、瞬时用水量、水质要求、了解客户生产工艺与行业特点。

● 专业团队配合设计、结合一对一服务人员的现场勘查、提供水处理解决方案一站式服务。

● 智能化设计，精准控制，自动化程度高，各单元可实现自动正洗/反洗/运行，联动保护，报警指示，4-20ma数据开放，可远传至DCS中控系统，真正实现无人值守。

● 按照工艺需求分段检测，可检测电导率、电阻率、PH、ORP、温度、流量、流速、压力等参数，确保每一个工艺环节的产品水都合格，而不污染后段成品水，重视过程控制。

● 综合投入成本与使用成本平衡考量的原则，设计适合客户的产品。

产品优势

● 我公司为美国海德能一级代理商，同众多国际品牌美国DOW、海德能、GE、西门子、罗门哈斯、、日本积水、施耐德等公司建立了良好的长期合作关系，产品质量得到可靠保障。

● 建立安装售后服务机制，进行绩效考核，设立客服部门，投诉窗口，及时解决客户诉求。

● 安装调试过程全程指导、全程培训，理论培训，实际操机培训，一般故障排查培训。

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● 多途径售后反馈，提供全国售后维保服务，快速响应，快速处理，24小时服务

● 郑重承诺：整机免费质保二年，终身免费技术服务。